气体质量流量控制器
标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
选配：现场总线接口
8711 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现*速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备桌越的控制特性。8711 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。作为电气接口，既提供模拟标准信号，也提供现场总线。8711 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。
8711型

流量范围介质1 15

单位介质1 nl/min

参考介质1丙烷

电源电压24V直流电池电压

实际值标准信号4-20mA

端口连接G1/4螺纹端口

铝材料

密封材料FKM

线圈尺寸20 x 20

孔口尺寸1.6mm

型号2 2871

传感器块流量分配器C4

无传感器功能

车身清洁度等级未定义

线圈功率5瓦

车身特征塑料外壳电子元件

校准压力med.1 1000

输出压力。医学。0200问题1

压力巴单位

安装位置任意

校准介质1气体工作气体

量程1:50

二进制输入1默认值

二进制输入2默认值

二进制输出1默认值

输入标称值默认为实际值输出

功耗13瓦

典型功耗9.5瓦
技术数据

标称流量范围1）

（Q标称）

1000万升/分钟2）至80升

N/min（氮气），

见第2页的表格

调低比为1:50，可根据要求提高调低比

工作气体中性，无污染气体，

应要求

校准气体工作气体或具有转换系数的空气

 大工作压力

（入口压力）

10巴（145磅/平方英寸）

取决于阀门的孔

气体温度-10…+70°C（-10…+60°C，含氧）

环境温度-10…+50°C

准确度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（预热1分钟后）

重复性±0.1%F.S。

稳定时间（t95%）<300毫秒

材料

身体

住房

海豹

铝或不锈钢

PC（聚碳酸酯）或金属

FKM、EPDM

端口连接NPT?，G?，螺纹接头或法兰，

其他应要求

调节装置

（比例阀）

阀孔板

k

VS值

常闭式

0.05…4.0毫米

0.00006…0.32立方米/小时

电气。连接

另外，现场总线：

插头D-Sub 15针

带PROFIBUS-DP：插座M12 5针

带CANopen：插座M12 5针

24 V直流电源

电压公差±10%

残余波纹<2%

 大功耗3.5…14 W

（取决于使用的比例阀）

输入信号

输入阻抗

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

>20 kΩ（电压），

<300Ω（电流）

输出信号

 大电流（电压）

 大负载（电流）

0…5伏，0…10伏，0…20毫安或4…20毫安

10毫安

600Ω

数字通信

可能通过适配器：

RS232，Modbus RTU（通过RS适配器）

RS485、RS422或USB

（见第3页附件表）

现场总线选项PROFIBUS-DP，CANopen

防护等级IP40

尺寸[mm]见图纸5-7

总重量约500 g（铝体）

水平或垂直安装

发光二极管

（默认功能，

其他可编程功能）

电源指示，

限制（模拟信号）/通信

（带现场总线）和错误

二进制输入

（默认功能，

其他可编程功能）

二

1启动自动调谐

2未的

二进制输出

（默认功能，

其他可编程功能）

继电器输出：

1限制（未达到设定值）

 大负载：25V，1A，25VA

1） 标称流量值是可控制的 大标定流量值。这个

标称流量范围定义了可能的标称流量范围（满标度值）。

2） 指数N：指1.013 bar和0°C的流量。

另外，还有一个指数S，指的是1.013巴和20°C

实际流量由传感器检测。这是根据

一种具有提供质量流优势的热学原理

与压力和温度无关。

总气体流的一小部分被转移到

设计的旁路通道能保证层流条件。

传感器元件是一个芯片，浸没在该流道壁中。

该芯片采用MEMS技术生产，包含一个加热电阻和

对称布置的两个温度传感器（热电堆）

加热器的上游和下游。的差动电压

热电堆是通过流量传感器的质量流量的测量。

校准程序实现了传感器的维一分配

通过装置的总流量信号。