8713 型质量流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热 MEMS 传感器可以实现*速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具备桌越的控制特性。8713 型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信*采用数字形式，这样一来，就可以省去额外的数模转换。8713 型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
通过 RS485 进行数字通信
紧凑型版本
8713型控制与工艺技术中大多数应用相关的气体质量流量。测量值将在

根据

信号；如果存在控制差，则将控制值输出到

比例阀将使用PI控制算法进行修改。由于

事实上，传感器直接与气体接触，响应非常快

达到MFC的时间。这样，质量流可以保持在

可以遵循固定值或预定义的配置文件，而不管

系统中的压力变化或其他变化。8713型可选择校准两种不同的气体，用户可以在

这两种气体。作为控制元件的直接作用比例阀

保证了MFC的高灵敏度和良好的控制特性。

该仪器与主设备进行数字通信，无需进一步的A/D

需要转换。可以使用MassFlowCommunicator软件

用于参数化和诊断。

直接流量测量

MEMS.标称流量技术

从10mln/min到80ln/min（N2）

?高精度和重复性

?沉降时间短

?紧凑的设计和数字通信

技术数据

标称流量范围1）

（Q标称）

10mln/min2）至80ln/min（氮气），

见表2

调低比为1:50，可根据要求提高调低比

工作气体中性，无污染气体，

应要求

校准气体工作气体或具有转换系数的空气

 大工作压力

（入口压力）

10巴（145磅/平方英寸）

取决于阀门的孔

气体温度-10至+70°C（-10至+60°C，含氧）

环境温度-10至+50°C3）

准确度±0.8%o.R.±0.3%F.S。

（预热1分钟后）

重复性±0.1%F.S。

稳定时间（t95%）<300毫秒

材料

身体

住房

海豹

铝或不锈钢

金属

FKM、EPDM

端口连接NPT?，G?，旋入式配件或底座，

其他应要求

控制阀

阀孔板

k

VS值

常闭式

0.05至4.0毫米

0.00006至0.32 m3/h

电气。连接插头D-Sub 9针

24 V直流电源

电压公差±10%

残余波纹<2%

功耗3.5-11.5瓦

（取决于使用的控制阀）

通过RS485（半双工或全双工）进行数字通信，

RS422

防护等级IP40

尺寸[mm]见图纸第5-6页

总重量约500 g（铝体）

水平或垂直安装

发光二极管

（默认功能，

其他可编程功能）

电源指示，

极限与误差

二进制输入

（默认功能，

其他可编程功能）

启动自动调谐

二进制输出

（默认功能，

其他可编程功能）

一个继电器输出：

1限制（未达到设定值）

 大负载：25V，1A，25VA

1） 标称流量值是可控制的 大标定流量值。这个

额定流量范围（可能的）定义了额定流量范围。

2） 指数N：指1.013 bar和0°C的流量。

或者，指数S指1.013巴和20°C

3） 使用内部5W阀门时： 高40°C
实际流量由传感器检测。这是根据

其优点是在不需要对所需压力或温度进行任何修正的情况下输送质量流量的原理。

总气流的一小部分被转移到一个小的，专门设计的

旁路通道，确保层流条件。传感器元件是

芯片浸没在这个通道的壁上。芯片包含一个加热电阻器

以及两个温度传感器（热电堆），它们对称地布置在加热器的上下游。热电堆的压差

是通过该旁通通道的质量流量的测量值。校准

程序实现传感器信号对总流量的为一分配

通过设备的速率。