质量流量计是一个准确、快速、高效的流量测量仪表。它是对被测介质的流量进行连续测量，测量结果是以公斤或吨等重量工程单位显示出来的流量仪表。 它只能检测液体或者气体的质量流量，通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。但是，它是可以检测同时又可以进行控制的仪表。
 

　　流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 来表示，亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。
 

　　主要的优点：
 

　　(1) 直接测量气体的质量流量
 

　　可以直接测量流体质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备，如温度测试仪和压力表，也无需进行换算。
 

　　(2) 无可移动部分
 

　　本身无类似转轴等的移动部件，增加了本身的可靠性，无需机械维护。
 

　　(3) 可以精确的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。
 

　　(4) 测量控制的自动化
 

　　可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示，流量自动计量，数据自动记录，计算机管理等。对质量流量控制器而言，还可以实现流量的自动控制。通常，模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA,?数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口，能非常方便地与计算机连接,?进行自动控制。
 

　　(5) 精确地定量控制流量
 

　　质量流量计可以精确地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制等。