宝德8712型大流量气体质量控制器

宝德8712型大流量气体质量控制器(MFC)适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热MEMS传感器可以实现*速度的响应。一个直动式 Bürkert 比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成PI控制器，令MFC具备的控制特性。8712型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。作为电气接口，既提供模拟标准信号，也提供现场总线。8712型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。凭借良好的IP防护等级，使得该款质量流量控制器尤其适合恶劣环境中的应用。

宝德8712型大流量气体质量控制器主要特点：
标称流量范围：0.010 lN / min至80 lN / min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
防护等级IP65
选配：现场总线接口

技术数据：
控制范围：1:50
建立时间：<300秒
重复性：±0.1％F.S.
操作气体：中性或腐蚀性气体
满量程范围1：5 ... 15000 mlN / min2）
校准气体：使用转换因子操作气体或空气
大工作压力：10 bar（145 psi），取决于阀的孔口
环境温度：-10 ... + 50°C，其他要求
气体温度：-10 ... + 70°C（氧气为-10 ... + 60°C）
建立时间：<3秒准确度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分钟预热时间后）
额定流量值是大值，可以控制的流量值被校准，该额定流量范围定义了可能的额定流量范围（满量程值）。
指数N：流量相对于1.013巴和0℃。另外还有一个指数S可用，指的是1.013巴和20°C

测量原理：
实际流量由传感器检测。 这根据热原理运行，该热原理具有提供独立于压力和温度的质量流的优点。总气流的一小部分被转移到小的，特别设计的旁路通道whitchensures层流条件中。传感器元件是芯片 浸入该流道的壁内。 MEMS技术生产的芯片包含一个加热电阻器和两个温度传感器（热电堆），它们在加热器的上游和下游对称布置。热电堆的差分电压是通过流量传感器的质量流量的度量。 校准过程实现了传感器信号与通过设备的总流量的分配。