宝德8713型采用数字通信的流量控制器

宝德8713型采用数字通信的流量控制器 (MFC) 适合在大流量范围内对气体进行质量流量控制。直接位于气流中的热MEMS传感器可以实现*速度的响应。一个直动式 Bürkert比例阀作为执行元件，确保了良好的响应灵敏度。集成PI控制器，令MFC具备的控制特性。8713型设备可以针对两种不同的气体进行校准，用户可以在两者之间进行切换。与上级设备的通信*采用数字形式，这样一来，就可以省去额外的数模转换。8713型质量流量控制器适合多样化应用，例如燃烧器控制、热处理、材料涂层、生物反应堆、燃料电池技术或者试验台。

宝德8713型采用数字通信的流量控制器主要特点：
标称流量范围：0.010 lN/min 至 80 lN/min
测量精度和重复性高
调控速度特别快
通过 RS485 进行数字通信
紧凑型版本

技术数据：
控制范围：1:50
建立时间：<3秒
重复性：±0.1％F.S.
操作气体：中性或腐蚀性气体
满量程范围1：5 ... 15000 mlN / min2）
校准气体：使用转换因子操作气体或空气
环境温度：-10 ... + 50°C
介质温度：-10 ... + 70°C（氧气为-10 ... + 60°C）
工作压力：10 bar（145 psi），取决于阀的孔口
建立时间：<3秒准确度：±1.5％o.R. ±0.3％F.S.（30分钟预热时间后）
指数N：流量相对于1.013巴和0℃。另外还有一个指数S可用，指的是1.013巴和20°C
额定流量值是大值，可以控制的流量值被校准，该额定流量范围定义了可能的额定流量范围（满量程值）。

测量原理：实际流量由传感器检测，这根据热原理运行，该原理具有输送质量流量而不需要对所需压力或温度进行任何校正的优点。总气流的一小部分被转移到专门设计的小型通道中，以确保层流条件。传感器元件是浸入该通道壁中的芯片。该芯片包含一个加热抗体和两个温度传感器（热电堆），它们对称地布置在加热器的上游和下游。热电堆的差分电压是通过该旁路通道的质量流量的度量。校准程序实现了传感器信号与通过设备的总流量的分配。

选择单位注意事项：为了正确选择MFC内的执行器孔口，不仅需要获得大流量，而且还应该知道在此流量下的MFC（p1，p2）之前和之后的压力值。通常，这些压力是与整个设备的整体入口和出口压力不一样，因为通常在控制器之前和之后都有附加的流量电阻器（管道，附加截止阀，喷嘴等）。如果这些数据应该是未知的或不能被测量使用，则估算应分别考虑流量电阻在MFC前后的近似压降。