宝德8715型调节侵蚀性气体质量流量调节器

宝德8715型调节侵蚀性气体质量流量调节器是一台用于调节侵蚀性气体质量流量的装置，它需要一个与介质相分离的传感器。在数字的电子调节设备中，会将传感器提供的实际值与规定的额定值进行比较；存在调节偏差时，会通过一种 PI 调节算法对发送到比例阀上的调节参数进行修改。这样一来，就可以将质量流量保持在一个确定的数值上，或使其遵循规定的曲线轮廓，而不会受到压力波动或设备中其他变化的影响。 可针对两种不同的气体对型号 8715 进行校准，用户可在两者之间进行转换。一个直动式比例阀作为调节元件，确保了高反应灵敏度和装置良好的调节特性。通过数字方式与更高一级的设备进行通讯，这样一来，就可以省去额外的 D/A 转换。

宝德8715型调节侵蚀性气体质量流量调节器主要特点：

采用毛细管技术的旁通仪器，适合额定流量范围 5 mlN/min 至 15 lN/min
适合侵蚀性气体
紧凑型版本和数字通讯

技术数据：
满量程范围：5至15000毫升/分钟2;N2当量
控制范围：1：50
操作气体：中性或腐蚀性气体
校准气体：使用转换因子操作气体或空气
大操作压力（进口压力）：10巴，取决于阀门的孔口
介质温度：-10至+ 70℃（氧气为-10至+60℃）
环境温度：-10至+ 50°C 3），其他要求
准确度：±1.5％o.R。±0.3％F.S。（30分钟预热时间后）
重复性：±0.1％F.S。
建立时间：<3秒。
电源：24 V DC
电压容差：±10％
残余波纹：<2％
功耗：3.5-11.5 W（取决于比例阀）

基于旁路原理：
主通道中的层流元件产生小的压降。这通过旁路（传感器管）驱动与主流成比例的小流量，两个连接在测量桥上的加热电阻受到不锈钢管的影响。在零流量状态下，桥是平衡的，但是随着流量的增加，热量沿流动方向传输，桥变得不平衡。测量的动态受到作为热障的管壁的限制。通过在控制器中使用合适的软件，可以获得适用于各种应用的响应时间（在几秒钟的范围内）。对于受污染的气体，我们建议在上游安装过滤器元件。这样就避免了主流和传感管之间的分配比例的变化，以及由于传感器管壁上的沉积而导致的传热变化。通过这些传感器，甚至可以控制侵蚀性气体，因为所有与气体接触的主要部分都是用不锈钢钢。