宝德8741型气体流量控制器

宝德8741型气体流量控制器必要时可以设置为MFC或者MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以CAN物理层为基础，Bürkert特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为ME2X的系统控制单元(SCU, System Control Unit)将客户的以太网通信传输到所有者的büS中，并驱动所有相连的电子设备。设备之间的通信可以在büS和CANopen之间切换。借此8741型也可以集成到现有的CANopen基础设施中。宝德8741型气体流量控制器借助MEMS传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

主要特点：
采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen

技术数据：
额定流量范围：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
调低比例：50：1，可选100：1
工作介质：中性，无污染气体，其他要求
校准介质：使用气体或空气
介质温度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧气）
环境温度：-10至+50°C（根据要求可提供更高的温度）
测量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分钟预热时间后）
重复性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/响应（MFM）时间：<300 ms

关于配置的注意事项：
为了正确选择MFC内的执行器孔口，不仅需要获得大流量，而且还应该知道在此流量下的MFC（p1，p2）之前和之后的压力值。通常，这些压力是与整个设备的整体入口和出口压力不一样，因为通常在控制器前后存在额外的流量电阻器（管道，附加截止阀，喷嘴等）。13表示直接在MFC之前和之后的压力。如果这些测量值应该是未知的或者不能被测量到，则需要考虑MFC前后流量电阻器上的近似压降，以大的流量分别计算。此外，引用大进口压力这个数据是需要的，以确保执行器能够在所有的操作模式下提供紧密的功能。