311158宝德适用于气体质量流量控制器

311158宝德适用于气体质量流量控制器必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元 (SCU, System Control Unit) 将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，311158宝德适用于气体质量流量控制器也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

主要特点：
采用 MEMS 技术直接测量流量
额定流量范围从0.010 lN / min到160 lN / min
高精度和可重复性
响应时间非常快
现场总线通信基于 CANopen

工作原理：
主通道中的层流元件产生小的压降，这通过旁路（传感器管）驱动与主流成比例的小流量，两个连接在测量桥上的加热电阻受到不锈钢管的影响。 在零流量状态下，桥是平衡的，但是随着流量的增加，热量沿流动方向传输，桥变得不平衡。测量的动态受到作为热障的管壁的限制。 通过在控制器中使用合适的软件，可以获得适用于各种应用的响应时间（在几秒钟的范围内）。对于受污染的气体，我们建议在上游安装过滤器元件。 这样可以避免主流量和传感器管子之间的分配比率的变化，以及由传感器管壁上的沉积物引起的传热变化。