BURKERT8741型气体流量控制器

    BURKERT8741型气体流量控制器必要时可以设置为 MFC 或者 MFM，且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础，Bürkert 特别为涉及多个控制回路（通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动）的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中，并驱动所有相连的电子设备。设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此，8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。 BURKERT8741型气体流量控制器借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量（用作 MFM）或者调节（作为 MFC）工作。传感器直接接触气体，因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外，测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准，使其用于测量/调节两种不同的气体，用户可以在这两种气体之间进行切换。

主要特点：
采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen

技术数据：
额定流量范围：10 mlN / min至160 lN / min（N2）
调低比例：50：1，可选100：1
工作介质：中性，无污染气体，其他要求
校准介质：使用气体或空气
大操作压力（超压至大气压力）：10巴（145 psi），MFC大。压力取决于阀的孔口
介质温度：-10°C至+70°C（-10°C至+60°C，含氧气）
环境温度：-10至+50°C（根据要求可提供更高的温度）
测量精度：±0.8％o.R. ±0.3％F.S.（1分钟预热时间后）
重复性：±0.1％F.S.
沉降（MFC）/响应（MFM）时间（t95％）：<300 ms