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BURKERT8741型气体流量控制器

  • 更新时间:2018-06-15
  • 厂商性质:工程商
  • 产品厂地:上海市
  • 访问次数:804
产品特点:BURKERT8741型气体流量控制器借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量(用作 MFM)或者调节(作为 MFC)工作。传感器直接接触气体,因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外,测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准,使其用于测量/调节两种不同的气体,用户可以在这两种气体之间进行切换。
产品介绍

    BURKERT8741型气体流量控制器借助 MEMS 传感器进行气体质量流量的测量(用作 MFM)或者调节(作为 MFC)工作。传感器直接接触气体,因而可以在几百毫秒之内极其快速地做出反应。此外,测量工作不受压力或者温度波动的影响。可以对 MFC/MFM 进行校准,使其用于测量/调节两种不同的气体,用户可以在这两种气体之间进行切换。
    BURKERT8741型气体流量控制器必要时可以设置为 MFC 或者 MFM,且规定用于 büS 或者 CANopen 网络中。büS 网络技术以 CAN 物理层为基础,Bürkert 特别为涉及多个控制回路(通过工业以太网或者其他现场总线加以驱动)的应用而对其进行了研发。型号为 ME2X 的系统控制单元 (SCU, System Control Unit) 将客户的以太网通信传输到所有者的 büS 中,并驱动所有相连的电子设备。 设备之间的通信可以在 büS 和 CANopen 之间切换。借此,8741 型也可以集成到现有的 CANopen 基础设施中。

主要特点:
采用 MEMS 技术直接测量流量
测量和重复精度高
反应时间非常之短
现场总线通信基于 CANopen

技术数据:
额定流量范围:10 mlN / min至160 lN / min(N2)
调低比例:50:1,可选100:1
工作介质:中性,无污染气体,其他要求
校准介质:使用气体或空气
大操作压力(超压至大气压力):10巴(145 psi),MFC大。 压力取决于阀的孔口
介质温度:-10°C至+70°C(-10°C至+60°C,含氧气)
环境温度:-10至+50°C(根据要求可提供更高的温度)
测量精度:±0.8%o.R. ±0.3%F.S.(1分钟预热时间后)
重复性:±0.1%F.S.
沉降(MFC)/响应(MFM)时间(t95%):<300 ms

关于配置的注意事项:
    为了正确选择MFC内的执行器孔口,不仅需要获得大流量Qnom,而且还应该知道在此流量Qnom下的MFC(p1,p2)之前和之后的压力值。通常,这些压力是与整个设备的整体进口和出口压力不一样,因为通常在控制器之前和之后都存在附加的流量电阻器(管道,附加的截止阀,喷嘴等)。
    在MFC之前和之后的压力。如果这些测量值应该是未知的或者不能被测量到,则需要考虑MFC前后流量电阻器上的近似压降,以Qnom的流量分别计算。此外,请引用大进口压力这个数据是必需的,以确保执行器能够在所有的操作模式中提供紧密的功能



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